薄膜电路及元件

薄膜电路:采用真空镀膜、紫外光刻、刻蚀以及电镀等工艺,在陶瓷基片上进行无源器件、绝缘介质膜及金属导带等的集成,从而制备得到具有特定功能的电路。

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